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    		•
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    流量測量主機(jī)
    型　號：molbox RFM
    品　牌：美國FLUKE
    技術(shù)指標(biāo)：用戶手冊、校準(zhǔn)證書、電源線、(2) molbox RFM到molbloc壓線、(1) molbox RFM到molbloc數(shù)據(jù)線、(2)直通壓力快速連接器
    舟山流量測量主機(jī)-molbox RFM-美國FLUKE

    molbox RFM是一個輔助單元，可使用molbloc-L層流和molbloc-S聲速流元件進(jìn)行質(zhì)量流量測量。

    molbloc 流量元件通過兩個壓力連接件和一根數(shù)據(jù)線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，并利用其內(nèi)置的高精度參考壓力傳感器 (RPT) 測量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測量系統(tǒng)讀取 molbloc 鉑電阻測溫儀的電阻，然后由此計算 molbloc 溫度。利用存儲在 molbox RFM 內(nèi)存中的 molbloc 校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、壓力、溫度和氣體屬性，可計算出通過 molbloc 的氣流流速。對于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時，可以選擇微量程選項(xiàng)來提高流量測量分辨度和精確度。

    molbox RFM 和 molbloc 流量元件應(yīng)用廣泛，適用于需要高精確度測量低氣流的測量、測試和校準(zhǔn)應(yīng)用。對于主要考慮結(jié)構(gòu)緊湊、量程可調(diào)性高、成本較低的應(yīng)用來說，molbox RFM 是理想之選。第二種型號 molbox1+ 針對的優(yōu)先考慮不確定度的應(yīng)用。要配置質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，請查看隨后幾頁，選擇 molbloc 和壓力相關(guān)校準(zhǔn)，以便更好的覆蓋您的流量量程和壓力狀況。molstic 安裝系統(tǒng)和 COMPASS® for molbox 流量校準(zhǔn)軟件可以幫您完善系統(tǒng)。

    ·         結(jié)構(gòu)緊湊

    ·         molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達(dá)到了 5000 slm

    ·         從 20 種不同的氣體中選擇

    ·         利用 100:1 可調(diào)性實(shí)現(xiàn)認(rèn)證的測量不確定度 ±0.5% 讀數(shù)

    ·         內(nèi)部閥門，可實(shí)現(xiàn)內(nèi)置的清洗、泄漏測試和自重支持

    ·         包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級測量函數(shù)

    ·         完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠(yuǎn)程通信

    ·         利用可由用戶設(shè)置的參考壓力和溫度狀態(tài)，測量質(zhì)量和體積流量

    ·        流量測量技術(shù)指標(biāo)

    ·         molbox RFM 可測量通過 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作壓力和壓力差，或者 molbloc-S 的流量量程、絕壓量程，取決于所使用的 molbloc 元件和校準(zhǔn)選項(xiàng)。請參閱 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校準(zhǔn)和量程詳情。

    ·         molbloc-L 量程最高可達(dá) 3E4，可通過微量程選項(xiàng)提高在 10% FS 以下時的分辨率和精確度。對于 1E5-L molbloc，必須使用微量程選項(xiàng)才能達(dá)到技術(shù)指標(biāo)。
     

    molbox RFM

     

    molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）

    molbloc-S（所有量程）

    測量更新速率

     

    1秒

    1秒

    范圍

    到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力

    取決于校準(zhǔn)類型（請參閱molbloc-L量程表）

    流量相對于20 kPa到200 kPa絕壓（3 psia到30 psia）或20 kPa到200 kPa絕壓（7 psia到70 psia）上游

    （請參閱molbloc-S量程表）

    分辨率

    0.01% FS

    ±0.01%讀數(shù)

    線性

    ±0.23%讀數(shù)，從10%到100% FS

    ±0.023% FS，在10% FS以下

    ±0.25%讀數(shù)

    重復(fù)性

    ±0.1%讀數(shù)，，從10%到100% FS

    ±0.01% FS，在10% FS以下

    ±0.1%讀數(shù)

    精確度1

    ±0.25%讀數(shù)，從10%到100% FS

    ±0.025% FS，在10% FS以下

    ±0.3%讀數(shù)

    預(yù)測的穩(wěn)定度2
    （一年期）

    ±0.15%讀數(shù)，從10%到100% FS

    ±0.015% FS，在10% FS以下

    讀數(shù)的±0.2％

    測量不確定度3

     

    ±0.5%讀數(shù)，從10%到100% FS

    ±0.05% FS，，在10% FS以下

    ±0.5%讀數(shù)，從50 kPa到500 kPa，±0.5%流量@

    50 kPa從20 kPa到50 kPa

    ·          

    具有微量程選項(xiàng)的molbox RFM

     

    molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）

    molbloc-L（量程僅僅是1E5)

    測量更新速率

    1秒

    1秒

    范圍

    從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力

    取決于校準(zhǔn)類型（請參閱molbloc-L表格）

    從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力

    取決于校準(zhǔn)類型（請參閱molbloc-L表格）

    分辨率

    0.01% FS，0.001% FS以下

     10% FS

    0.01% FS

    線性

    ±0.23%讀數(shù)，從1%到100% FS；±0.0023% FS，在1% FS以下

    ±0.25%讀數(shù)，從5%到100% FS

    ±0.0125% FS，在5% FS以下

    重復(fù)性

    ±0.1%讀數(shù)，從1%到100% FS

    ±0.001% FS，，在1% FS以下

    ±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS

    ±0.01% FS，在5% FS以下

    精確度1

    ±0.25%讀數(shù)，從1%到100% FS

    ±0.0025% FS，在1% FS以下

    ±0.32%讀數(shù)，從5%到100% FS

    ±0.016% FS，在5% FS以下

    預(yù)測的穩(wěn)定度2
    （一年期）

    ±0.15%讀數(shù)，從1%到100% FS

    ±0.0015% FS，在1% FS以下

    ±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS

    ±0.01% FS，在5% FS以下

    測量不確定度3

    ±0.5%讀數(shù)，從1%到100% FS

    ±0.005% FS，在1% FS以下

    ±0.5%讀數(shù)，從5%到100% FS

    ±0.025% FS，在5% FS以下

    ·        molbloc-S（所有量程）

    ·         除了沒有微量程以外，其他技術(shù)指標(biāo)與 molbox RFM 相同。只要將 molbox RFM 連接到 molbloc-S 上，就會禁用微量程傳感器。

    ·        1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。

    ·        2 預(yù)測的穩(wěn)定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時一年內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測，因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbox RFM 的穩(wěn)定度。

    ·        3 測量不確定度：molbox RFM 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和 DHI 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。molbloc 的測量不確定度技術(shù)指標(biāo)僅適用于使用的是 molbloc 校準(zhǔn)過的氣體的情況。所有 molbloc 都針對 N2 校準(zhǔn)過。其他氣體的校準(zhǔn)是可選的。并非所有規(guī)格的 molbloc 在所有時間，對所有氣體都提供 DHI 校準(zhǔn)功能。請在訂購前檢查是否可用。

    型號

    描述

    Molbox RFM

    molbox RFM參考流量監(jiān)控器

    包含：

    用戶手冊、校準(zhǔn)證書、電源線、(2) molbox RFM到molbloc壓線、(1) molbox RFM到molbloc數(shù)據(jù)線、(2)直通壓力快速連接器

    5141-100

    molbox RFM, molbloc 5E1-L 10 to 100 sccm

    Included:

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E1-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5141-1K

    molbox RFM, molbloc 5E2-L 100 to 1,000 sccm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E2-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5141-10K

    molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to 10 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E3-L laminar flow element

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5141-50K

    molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to 50 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 3E4-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5142-1K

    molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10 to 1,000 sccm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E2-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5142-10K

    molbox RFM-M, molbloc 5E3-L 0.1 to 10 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E3-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5142-50K

    molbox RFM-M, molbloc 3E4-L 0.5 to 50 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 3E4-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5144-50K

    molbox RFM-M, molblocs 5E2-L and 3E4-L10 sccm to 50 slm

    Included:

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E2-L and 3E4-L laminar flow elements

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

    通用配件:


    配件

    描述

    MFC-CB控制盒

    MFC-CB控制盒

    包括：
    （2）MFC/MFM連接線套件
    校準(zhǔn)線
    電源線
    操作與維護(hù)手冊
    校準(zhǔn)報告

    針對molbloc/molbo用戶的校準(zhǔn)輔助軟件

    molstic-L安裝系統(tǒng)

    molstic-S安裝系統(tǒng)

    RFM-RMK

    機(jī)架安裝工具

    RFM 02

    微量程

     

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