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技術(shù)文章
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    音速噴嘴流量元件
    型 號:molbloc-S
    品 牌:美國FLUKE
    技術(shù)指標(biāo):正常工作溫度范圍:
    15到35°C
     
    儲存溫度范圍:
    -25到35°C
    新鄉(xiāng)音速噴嘴流量元件-molbloc-S-美國FLUKE

    基于音速噴嘴的molbloc,氣流最高可達(dá)5,000 slm

    molbloc-S® 是一種高精確度的傳送標(biāo)準(zhǔn),適用于校準(zhǔn)其他傳送標(biāo)準(zhǔn)或過程流量計(jì)和控制器。molbloc-S 與 molbox1+ 或 molbox RFM™ 終端配合,可擴(kuò)展 molbloc/molbox™ 校準(zhǔn)系統(tǒng)的量程,并且為中高流量提供出眾的準(zhǔn)確度,F(xiàn)有的 molbox1 終端配備了 4.0 或更高版本的嵌入軟件,而所有 molbox1+ 終端都能與 molbloc-S 結(jié)合使用。

    特性一覽

    ·         對于 N2 和空氣,覆蓋高達(dá) 5,000 slm 的量程

    ·         可與 molbox1+ 或現(xiàn)有的 molbox1 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用

    ·         重量校準(zhǔn)支持可靠的流量文氏管(音速)噴嘴操作原則

    ·         污染物敏感度極低

    ·         測量不確定度:
    對于 molbox1+,可達(dá)到 ±0.125% 讀數(shù)
    對于 molbox1,可達(dá)到 ±0.2% 讀數(shù)
    對于 molbox RFM,可達(dá)到 ±0.5% 讀數(shù)

    ·         可以使用空氣、N2、Ar、H2、He、N2O 和其他校準(zhǔn)氣體,,可以對環(huán)境氣體進(jìn)行潮濕氣體密度補(bǔ)償

    ·         利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號加上真空,可實(shí)現(xiàn)卓越的量程可調(diào)性(10:1 調(diào)節(jié))。

    ·         冗余的上游絕壓測量使用 molbox 絕壓傳感器來降低不確定度并提高可靠性

    ·         完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測量

    ·         連續(xù)、實(shí)時的讀數(shù),就像傳統(tǒng)的 molbloc-L 層流元件一樣

    ·         可以實(shí)現(xiàn)全自動

    molbloc-S量程

    通過 molbloc-S 的質(zhì)量流速可直接與上游絕壓以及獨(dú)立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉(zhuǎn)化率 KF 定義。KF 的單位為 sccm/kPa,它定義了質(zhì)量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關(guān)系。molbloc-S 校準(zhǔn)工作是針對與 20 到 200 kPa(3 到 30 psia)、50 到 500 kPa(7 到 70 psia)或 200 kPa 到 2 MPa(30 到 300 psia)的上游壓力相對應(yīng)的量程執(zhí)行的。

    為了使流量測量有效,molbloc-S 文丘管噴嘴處的流量是最重要的,例如,氣體速度等同于本地音速。當(dāng)背壓率足夠低時可以達(dá)到關(guān)鍵流量,或保持 BPR 不變(molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓)。關(guān)鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間,具體取決于流量的雷諾數(shù)。

    由于通過 molbloc-S 的質(zhì)量流量與上游絕壓成比例,molbloc-S 的流量量程在應(yīng)用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程最大化,必須在下游連接一個真空泵,減少流動時的下游壓力。當(dāng)下游壓力足夠低時,就可以將上游壓力以及質(zhì)量流速調(diào)節(jié)到針對 molbloc 校準(zhǔn)類型的最小值,而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游(無真空泵),則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準(zhǔn)類型的最大壓力到當(dāng) BPR 等于當(dāng)前雷諾數(shù)下的 BPR 限值時的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能,可測量 BPR,在 BPR 值過高時自動提示操作人員,避免在流量非關(guān)鍵時進(jìn)行測量。

    molbloc/molbox通用技術(shù)指標(biāo)

     

    molbox1+

    molbox RFM
    除非另行說明,,否則所有技術(shù)指標(biāo)均與molbox1相同。

    正常工作溫度范圍:

    15到35°C

     

    儲存溫度范圍:

    -25到35°C

     

    正常工作壓力范圍:

    20到200 kPa絕壓(3到30 psia);或50到500 kPa絕壓(7到70 psia)上游;或200到2000 kPa(30到300 psia),僅適用于molbox1+S。

     

    總流量量程:

    <1到5,000 slm

     

    入口連接:
    1E1-S到1E2-S
    2E2-S到2E3-S
    5E3-S和1E4-S

    1/4 in. VCR™
    1/2 in. VCR™
    1 in. VCR™或1 in. NPT

     

    出口連接:
    5E1-S到2E3-S
    5E3-S、1E4-S

    16 mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法蘭盤
    40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法蘭盤

     

    支持的氣體:

    氮?dú)?N2)、干空氣、潮濕空氣、氬(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧氣(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氫氣(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、丙烷(C3H8)、六氟化硫(SF6)、丁烷(C4H10)、八氟環(huán)丁烷(C4F8)、氙氣(Xe)

     

    流量測量

    范圍:

    取決于molbloc的尺寸和壓力校準(zhǔn)量程(請參閱molbloc-S量程表格)

     

    所需背壓率:

    0.4到0.9,取決于雷諾數(shù)

     

    校準(zhǔn)氣體:

    標(biāo)準(zhǔn):干空氣

    可選:N2(取代標(biāo)準(zhǔn)空氣校準(zhǔn)或作為補(bǔ)充)、Ar、H2、He、N2O。有關(guān)這些氣體和其他氣體在特定量程內(nèi)的可用性,請咨詢廠家。

    *濕空氣操作需要進(jìn)行干空氣校準(zhǔn)

     

    molbloc-S壓力校準(zhǔn)量程:

    低壓力(LP):
    20到200 kPa絕壓(3到30 psia),上游

    標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP):
    50到500 kPa絕壓(7到70 psia),上游

    高壓力(HP):
    200到2 MPa絕壓(30到300 psia),上游

    * HP校準(zhǔn)僅適用于molbox1+S終端
    *流量測試技術(shù)指標(biāo)在10%到100% molbloc量程內(nèi)有效

     

    分辨率:

    ±0.0015% FS

    ±0.01%讀數(shù)

    精確度:

    讀數(shù)的±0.06%

    ±0.30%讀數(shù)

    預(yù)測的穩(wěn)定度(一年期)

    讀數(shù)的±0.05%

    讀數(shù)的±0.2%

    測量不確定度

    讀數(shù)的±0.2%
    特級校準(zhǔn):±0.125%讀數(shù)

    50到500 kPa時,±0.5%讀數(shù)

     

    型號

    描述

    1E1-S

    KF [sccm/kPa]: 10
    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    2E1-S

    KF [sccm/kPa]: 20
    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),,并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    5E1-S

    KF [sccm/kPa]: 50
    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    1E2-S

    KF [sccm/kPa]: 100
    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    2E2-S

    KF [sccm/kPa]: 200

    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    5E2-S

    KF [sccm/kPa]: 500


    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    1E3-S

    KF [sccm/kPa]: 1000


    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    2E3-S

    KF [sccm/kPa]: 2000
    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    5E3-S

    KF [sccm/kPa]: 5000
    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    1E4-S

    KF [sccm/kPa]: 10,000
    每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容:

    ·        molbloc-S流量元素

    ·        運(yùn)輸和存儲箱

    ·        用于molbloc上游連接的柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明

    ·        處于標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

    ·        高度的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

    molbloc-S校準(zhǔn)選件

    低壓20到200 kPa(3到30 psia)
    molbloc上游(指定溢價或標(biāo)準(zhǔn))
    標(biāo)準(zhǔn)壓力50到500 kPa(7到70 psia)
    molbloc上游(指定溢價或標(biāo)準(zhǔn))
    高壓200到2000 kPa(30到300 psia)
    molbloc上游(指定溢價或標(biāo)準(zhǔn))

     

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