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半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀
查看大圖
型 號(hào):
XP-703D
品 牌:
日本新宇宙
技術(shù)指標(biāo):
檢測(cè)氣體:半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
產(chǎn)品介紹
品牌簡(jiǎn)介
清徐半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-XP-703D-日本新宇宙
功能描述
檢測(cè)氣體:
半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測(cè)原理:
熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式:
自動(dòng)吸引式
可檢測(cè)濃度:
胂
0.2
膦
0.3
硼乙烷
0.1
硅烷
0.5
氫氣
1.0
檢測(cè)表示:
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度:
10秒以內(nèi)
,
,
服務(wù)承諾
公司實(shí)力
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